無塵車間對溫濕度的控制決取于其生產工藝。在滿足加工工藝的條件下，還應該考慮到人的舒適感。因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。我們來看常見無塵車間對溫濕度有要求的工藝。

在精密機械加工和計量等場合，為了防止因熱膨脹而引起的誤差，使工件保持一定的溫度。工件溫度的允許波動幅度應根據加工精度決定。例如，在恒溫室里對一根長500mm的標準尺刻線，工藝允許線間公差為2um，其中lum為尺溫變化所引起的形變誤差，另1um為加工與量測誤差。1um折合尺溫變化量＝0.20C[a為尺線膨脹系數，取10／um／(m?K)；l為尺長，m]，故工件溫度變化需在：以內。但由于工件測量儀器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動傳人工件后，就要衰減。在設計恒溫系統時，一般總是以恒定環境空氣溫度為依據，故相應的環境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。

因此，在確定恒溫室參數和選擇自動控制時，考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動態特性。

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