潔凈室（亦稱無塵室）：空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生滯留粒子。室內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。

現行標準：GB50073-2013 潔凈廠房設計規范。

各種條件下微塵狀況

塵埃粒子直徑的示意圖：

灰塵又是如何產生的呢？

一般事務室里拍攝的例子

熒光燈全部消失的場合：

走路時候發塵樣子對比

左邊是穿一般的工作服走路時候發塵的樣子。右邊是穿潔凈服走路時候發塵的樣子。

拍擊工作服時產生的塵埃粒子對比

左邊是拍擊一般的工作服時發塵的樣子。右邊是拍擊潔凈服時發塵的樣子。

潔凈室內的事例

作業人員通過后，塵埃附著在玻璃上的樣子。

浮游粒子

使用 ParticleEyeDCF 統計浮游粒子數量。

紙張的發塵對比

左邊是普通紙，右邊是無塵紙。

膠帶和手套的發塵例子

左邊是紙芯膠帶的發塵的樣子，右邊是PVC手套的發塵。

電動工具的發塵例子

左邊是電鉆發塵的樣子。右邊是真空泵發塵的樣子。

吸塵器排氣的例子

吸塵器各地方排氣泄漏的樣子。

打噴嚏時從嘴里泄漏飛沫的樣子：

打噴嚏時瞬間發生的飛沫。

發汗現象：從胳膊發汗條件創造。

吸煙的例子：香煙煙霧的粒子。

運動時產生的塵埃粒子數量

灰塵是如何去除的呢？

潔凈室的空氣凈化：

手持簡易型激光粒子計數器

測量空氣中微粒的數量：

限于體量和重量，手持式激光粒子計數器采樣流量一般為每分鐘0.1立方英尺（0.1cfm），即每分鐘2.83升（2.83L/m），其最小粒徑通道一般為0.3μm。通常均可采用電池或交流電工作。

這類產品粒徑通道又可分為雙通道型，如美國Met One公司生產的HHPC-2型，有0.3和0.5μm及0.5和5μm兩種標準配置。

由于這類產品采樣空氣量小，測量精度相對較低，但隨檢測人員移動靈便，適用于各種潔凈室的監測，判定過濾設備的效率和密封性。這類產品可存儲一定量的采樣數據，備有下載軟件，均不帶打印裝置。

高效過濾器

高效過濾器檢漏：

卸下HEPA的散流板，對整個濾器面、濾器與邊框之間、邊框與邊框之間以及邊框與靜壓箱之間的密封進行掃描。掃描時采樣頭距濾器面約1英寸（約2.54cm），掃描速度不超過5cm/s。掃描按直線來回往復地進行，線條間應重疊。檢測過程中，若有報警聲 （即%LEAKAGE（泄漏率）超過0.01%），表明有泄漏。泄漏處經用硅膠堵漏或緊固以后再進行掃描巡檢。檢查一個過濾器約為5min 左右，在測試的過程中，應經常確認上游氣溶膠的濃度，注意在檢測過程中應帶防護面罩和防護眼罩。

風量罩

測量送風風速：

風量罩主要由三個部分構成：風量罩體、基座、PDA構成。

風量罩體主要用于采集風量，將風匯集至基礎上的風速均勻器上。在風速均勻器上裝有熱式傳感器，熱式傳感器將風速的變化，再根據基底的尺寸將風量計算出來.風量罩的顯示采用PDA，大屏幕液晶屏顯示直觀,直接可以得到風速和風量的數據。操作簡單，可以設置記錄時間間隔進行連續的參數記錄，以便對數據進行分析。測量和記錄的數據被記錄在存儲卡上，不會丟失，可以通過計算機的串口將數據傳遞到PC機上以及做進一步的應用。

風罩的測量技術要求：

壓差測定儀表

壓差檢測：普通潔凈室不同級別逐級之間、潔凈室與非潔凈區之間的微壓差一般為5～10Pa，某些生物潔凈室為防止有害物或病毒向外擴散，其進入通路的各個房間之間的負壓差需要維持-10～-30Pa。

根據國家標準GB19489-2008“實驗室、生物安全通用要求”的規定：相對于大氣壓污染區為-40Pa，根據國家標準GB50346-2011“生物安全實驗室建筑技術規范”的規定：與室外方向上相鄰相通房間的最小負壓差為-10Pa。

在各級空氣過濾器處，應配置微壓差計并與過濾器前后的靜壓引出管相連，以便隨時監測氣流通過空氣過濾器的壓力降。有些微壓差計還備有可調節壓差設定的報警標定值，以便超過規定壓差時輸出報警信號。

溫濕度計

測量溫濕度：電子溫濕度計因其方便、可靠、便于距離測量等優點，在潔凈室檢測、監測中廣泛使用。常見的有電容式和電阻式傳感器，輔以相應電學儀器，即可測定空氣的相對濕度。

電阻式濕度傳感器常見的有氧化鎳金屬氧化物燒結而成的多孔狀陶瓷體，或高氯酸鋰—聚氯乙烯等高分子材料制成。

它們都是利用了在不同濕空氣中，由于吸濕量變化而引起的電阻值變化原理制成的濕度傳感器。

氧化鎳陶瓷濕度傳感器因其使用壽命長，工作穩定性好，使用較普遍。

電容式傳感器：電容式濕度傳感器基本上是一個電容器，在高分子薄膜上的電極是很薄的金屬微孔蒸發膜，水分子可以通過兩端的電極被高分子薄膜吸附或釋放，隨著水分子的吸附與釋放，高分子薄膜的介電系數將發生相應變化。因為介電系數隨空氣中的相對濕度變化而變化，因此，只要測定其電容值即可得到被測空氣的相對濕度。

照明：淚滴型照明燈具，嵌入式照明燈具。

照度計

照度測試：照度測試宜采用便攜式數字照度計。

潔凈室（區）照度的檢測應在室內溫度穩定和光源光輸出穩定的狀態后進行；對新熒光燈區應使用100h以上，并在點燃15min后進行測試。

照度測試點應選擇在工作面高度進行，一般宜為0.85m，通道測試高度宜為0.2m；測試點數量可按每50㎡潔凈室（區）面積一個點計算，但每個房間不得少于1點。

靜電檢測儀

測量靜電：該類測試儀表不直接與帶電體接觸，而是運用靜電感應的原理，間接測試帶電體的靜電電位。由于這種測試不是直接同帶電體相接觸，因此也稱非接觸式測量。

靜電感應原理：是將測試探頭靠近帶電體，利用探頭與被測帶電體之間產生的畸變電場測試帶電體的表面電位。

靜電控制

ESD控制= Man(人)+ Machine (機) + Material (料)+ Method(法)+ Environment(環)。

風淋室（Airshower）

風淋室設于無塵室入口處，具有以下功能：

人員管制；AIR LOCK 氣鎖功能，防止交叉污染；

風速20-25m/s吹落塵埃帶走功能，用以吹除人體衣服上及設備、物料、工具的塵埃。

注：正確使用風淋室，能夠減少帶入室內的灰塵。正確聽從風淋室播音員的指示進行操作，夠去除95%的1μ以上的灰塵。

傳遞箱 (PASS BOX)

置于潔凈室隔間墻上之裝置功能：

做為潔凈室內外物品傳遞之緩沖區，其可防止于傳遞物品時由于門的開啟而破壞了潔凈室氣流與室壓；

可減少作業人員走動的時間而防止外區塵埃的進入；

進出口具有不可同時開啟的聯鎖控制，以達到防止交叉污染。

潔凈室及潔凈區潔凈度等級

潔凈室的管理四大原則：

不將灰塵帶入

不讓灰塵產生

正確穿著潔凈服：

正確使用風淋室之進入潔凈室

使用風淋室注意事項

正確使用風淋室之走出潔凈室流程

潔凈室禁止攜帶物品舉例

潔凈室禁止帶入易發塵物品、數碼產品、食品、個人物品、不使用物品、未清潔物品及工具等。

潔凈室專用物品舉例

潔凈室必須使用專用物品：

不讓灰塵堆積-潔凈室 (Clean Room)的清掃

以Ａ?Ｂ?Ｃ?Ｄ?Ｅ的順序、從上往下進行清掃。

清掃區域要點圖：

A ：樓承板及天花板上梁清掃：

用無塵布清理灰塵；

用純水無塵布清掃房梁、吊頂螺栓 手夠不到的地方用拖把用純水擦拭一次以上。

要點：將裝有純水的水桶帶到天花板內、用無塵布沾濕后絞干擦洗，在梁上不要殘留下痕跡。

B：樓承板及天花板上設備機器清掃

保護膜全部撕掉、用無塵布清理掉積塵；

用純水無塵布清掃配管、管路、線纜橋架等手夠不到的地方用拖把用純水至少擦拭一次以上。

要點　將裝有純水的水桶帶到天花板內、用無塵布沾濕后絞干擦洗：在配管等上面不要殘留下痕跡。

C：樓承板及天花板清掃

收拾垃圾、用拖把拖?樓承板及天花板上用純水擦拭將裝有純水的水桶帶到天花板內、用無塵布沾濕后絞干擦洗：在天花板上面不要殘留下痕跡。

D：樓承板及天花板下設備機器清掃

保護膜全部去除、有電氣機器接觸的部分用干無塵布擦拭其他配管、管路、橋架等用純水擦拭清掃。暖通南社制作。

E：地板清掃

操作順序是先撕掉保護膜?收拾垃圾?用清掃機收拾垃圾、用無塵拖把清潔?用純水擦拭來進行地板清掃(強力的污漬用噴霧劑對應)?干燥。

柱子?閥門用水擦拭、墻壁的鋁蜂巢板用擦拭的方法進行清潔。生產盤由設置的業者負責任的進行干擦拭清掃(柱子的話事前能夠清掃的地方進行清掃。

注意：務必將作業區域跟清掃區域區分開來。

清掃事例

①從上往下清潔；

②從里往外清潔；

③朝一個方向清潔。

潔凈室清潔工具及清潔產品

潔凈室必須使用專用清潔工具及清潔產品：

迅速排出灰塵

潔凈室內的注意事項

1.潔凈室內禁止跑動，走路時禁止拖防靜電鞋。

2.禁止閑聊、吵鬧，大聲叫人。

3.個人用品(手機,手表等)及食物禁止搬入潔凈室內。

4.搬入資材及易耗品等生產物品時必須通過風淋合格箱進行洗潔作業后再搬入。

5.化妝或涂指甲油的人禁止出入。

6.防靜電帽，防靜電服外露出頭發，眼眉，一般服裝不正確時立即到更衣室(Smock Room)點檢著裝之后再次通過風淋室(Air Shower)后入室。

7.防靜電手套及手指套被破損或受污染時立即更換新的使用。

8.作業時Clean Room帽(防靜電帽)，防靜電服及防靜電鞋破損或受污染時通知組長交換新的使用。

9.開始作業時、終了時，休息時間過后要用滾筒架清掃作業臺及周邊。

10.作業臺上禁止放置不必要的什器。

11.禁止坐著轉動椅子或向后擺動。

12.禁止靠在裝備、墻，作業臺等。

13.禁止坐在地板上。

14.禁止用手套觸摸皮膚。

15.交換器及電源等電裝置要注意觸電。

16.完成作業之后整理，整頓作業臺、尺工具及周圍后退室。

某光電廠房潔凈室管理

潔凈室進退流程：

人員訓練與資格考核

凡需進入無塵室工作人員，無論本公司或公司外部人士，除外賓外(客戶、VIP等)。

任何人員皆需經潔凈室訓練或資格考核及格，方可進出無塵室。

人員需經資格考核及格后，無塵室管制室方可發放無塵衣。

外部人員進入無塵室之申請

外部人員進入無塵室，由相關單位代為提出「無塵室申請單」。

施工廠商可由警衛室申請「臨時工作證」或由相關單位代為申請「長期工作證」。

進入更衣室與洗塵之管制

管制室應做到監控人、事、物之進出需合乎規定。

不可化妝，包含口紅、粉底、指甲油、眼影、香水。

個人應保持良好衛生習慣，每日洗澡、刮胡子和定期洗頭，經常洗手保持手部甲清潔。

不可攜帶私人物品，如香煙、打火機、食物飲料、化妝品、手鐲、耳環、戒指。

除無塵室專用文具外，嚴禁攜入鉛筆、自來水筆、橡皮擦、蠟筆與一般紙張等。

棉質、紙盒、木材等易產生粉塵材料的物品禁止攜入無塵室 。

吸煙30分鐘后方可進入無塵室。

施工廠商需有專人陪同方可進入無塵室。

更衣步驟：

安全衛生之管制

無塵室內發現生產環境異狀(不明之聲音、煙蒂、溶劑及味道)應迅速反應至組長或相關人員、主管。

毒氣外露警報聲響時，應迅速呼叫同仁由安全門撤離，并應迅速反應至組長或相關人員、主管。

嚴禁切、削、鉆等工程，如有必要需先做防塵措施與施工區域隔離措施。

如遇緊急狀況，依工安單位規定之逃生路線，以最快速度離開無塵室。

緊急逃生時可不脫去無塵衣物 。

緊急狀況消除后，靜候通知進入無塵室，并更換干凈之無塵衣物。

紀律管理

Class10,000區人員至Class100,000區作業后，若需重回Class10,000區者需經AIR SHOWER吹送后方可重回Class10,000區；而穿著Class100,000區無塵衣人員絕對禁止至Class10,000區。

不得坐于地板上，并嚴禁僅貼機臺、墻壁、工作桌。

面對Cassette或機臺時禁止講話、較大之肢體動作，并嚴禁快速走動或追逐(警急警報響時除外)，保持慢速走動 。

除新人訓練、公事交接外，應避免兩人以上交談。

Cassette或Tray不可置于地面，除Cassette待清洗區外。

禁止勾肩搭背、觸摸其它人員或兩人同坐一張無塵椅 。

無塵室內絕對禁止拍照錄像，如有必要需經廠長同意 。

除非具合格之人員，否則嚴禁操作任何機臺。

物品、器具、化學品之管制

應避免亂流產生與在機臺區氣流之上方等處放置物品或執行其它作業 。

化學藥品應置于化學柜內。

化學藥品應有明確之中英文標示。

使用過無塵布、無塵紙一律置于垃圾桶內。

無塵室門之管制

隨手關門，無塵室之信道門應隨時保持緊閉。

禁止用推車頂門。

門有損壞時應立刻通知處理。

電線、插座、蛇管之管制

機臺之管線應用束線帶束緊，固定于墻角或不妨礙通行之角落。

不使用膠帶固定電線于地上或墻上。

使用插座時應確定所使用工具之電壓與插座電壓是否相同。

無論任何電線均不可用腳踩踏。

文件資料之管制

O/I需置于指定位置，不可任意放置，使用后需立即歸回原位 。

O/I內容不可徑自書寫、涂改或做其它記號 。

攜入無塵室之影印資料，需放入透明文夾內，打印資料應用噴墨打印機打印。

雙孔或三孔打孔機禁止放置在生產區使用。

標示標語之管制

不得任意撰寫標語張貼。

張貼標示時應依規定格式，并經制造主管同意。

消火箱滅火器之管制。

滅火器附近走道應保持暢通。

滅火器位置應按規定放置并有清楚之標示牌。

離開無塵室之管制

除緊急逃生外必須由Gowing Room路徑離開。

人員進入更衣室后，脫去手套、口罩、網帽，并依規定垃圾桶丟棄。

脫無塵鞋，將無塵鞋置于自己鞋柜中。

脫無塵衣，將無塵衣置于自己衣架上(先脫上半身再脫下半身)。

無塵衣掛上衣架后確實將拉煉拉至領口，以防無塵衣滑落。

小型器具物品可隨人員辦登記后攜出無塵室。

大型器具物品需有兩組人員內外接應，人員則按離開無塵室手續離開。

設備保養之管制

執行保養前應要求機臺LOAD/UNLOAD凈空。

所有零件器具不可置于地上，大型器具對象應以塑料布墊妥再置于地上。

無塵衣物清洗與更新之管制

各區無塵衣物清洗每周一次。

原則上避免施工人員自備無塵衣物，統一由公司提供。

無塵衣物管理單位應將發放給予公司同仁之無塵衣物加以編號管理。

無塵衣磨/破損嚴重或修補超過三次應予以丟棄。

稽核改善與獎懲

品保單位應定期檢測無塵室環境狀況并依追蹤改善情形。

制造單位或相關單位應全力配合品保單位之稽核行動，不可刁難或拒絕配合。

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