半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝對無塵車間潔凈棚溫濕度要求
摘要：
潔凈棚的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)最佳溫度范圍為35—45%。
百科凈化制作產(chǎn)品：凈化設(shè)備：潔凈棚、超凈工作臺、洗手池、風(fēng)淋室、貨淋室、傳遞窗、FFU、BFU、高效送風(fēng)口、層流罩、新風(fēng)柜、采樣車、無塵衣柜等不銹鋼凈化制品。
耗材配件：初，中，高效過濾器、耐高溫過濾器、液槽式高效過濾器、回風(fēng)百葉、調(diào)節(jié)閥、保溫軟管、法蘭等。
百科凈化專業(yè)從事凈化設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)、安裝、維護的全面性技術(shù)服務(wù)的高科技企業(yè)。我們擁有強大的銷售團隊、眾多專業(yè)技術(shù)人才，貼心的售后服務(wù)。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于光電、食品飲料、微電子、精密儀器、通訊通信、生物制藥、農(nóng)林、畜牧獸醫(yī)、檢驗檢疫、航空航天、汽車制造、大專院校和科研教學(xué)等行業(yè)領(lǐng)域。公司本著誠信、團結(jié)、創(chuàng)新、持續(xù)發(fā)展的經(jīng)營理念致力于潔凈行業(yè)，堅持以客戶三個滿意為基本原則："產(chǎn)品質(zhì)量的滿意， 先進技術(shù)的滿意，售后服務(wù)的滿意 ",不斷加強企業(yè)內(nèi)部的綜合競爭力，公司在競爭中求發(fā)展，在挑戰(zhàn)中謀機遇。勤勞和真誠的我們愿與您攜手并進、共創(chuàng)輝煌！
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